可用于微加工的超快光纖激光技術

時間：2019-08-27 來源：新特光電訪問量：2012

現在，各種激光器已經被廣泛應用于工業加工和醫療領域，而超快光纖激光器作為高端微納加工和生命科學領域的理想光源，正逐漸引發市場的高度關注。

飛秒激光脈沖在微加工中具有許多獨特的加工優勢，主要表現在：

飛秒激光加工的組織中沒有熔融區，沒有重鑄層，不產生微裂紋。這是飛秒加工的最重要特征。它避免了熱熔化的存在，實現了相對意義上的冷加工，大大減弱和消除了傳統加工中熱效應帶來的諸多負面影響。
飛秒激光加工精度高，不受光的衍射極限的限制，具有很高的空間分辨性。
飛秒激光加工對材料沒有選擇和限制性，可以對任何材料進行精細加工、修復和處理。
飛秒激光加工需要的脈沖能量閥值極低，一般只有毫焦耳量級，這決定了加工的能量低耗性。
加工過程不產生導致結構損壞的沖擊波，不損壞臨界的結構組織。

與固體飛秒激光器相比，光纖飛秒激光器有諸多優點：結構緊湊、高集成、高穩定、免維護、免調試；高增益、低閾值、高轉換效率；散熱性能良好；高光束質量。光纖激光器是實用化激光光源的重要方向。

摻鐿(Yb)增益光纖非常適合于中心波長在1微米的光纖激光器。其主要優點包括：能用半導體激光泵浦（860-1,050nm）；寬增益帶（970-1,200nm）；高飽和能量（35 J/cm2）；高泵浦效率；無激發態吸收等。

傳統的激光放大采用直接的行波放大，而對超短激光脈沖來說，隨著能量的提高，其峰值功率將很快增加，并出現各種非線性效應及增益飽和效應，從而限制了能量的進一步放大。

啁啾脈沖放大技術（CPA）是飛秒激光脈沖放大的必要手段。CPA技術的原理是，在維持光譜寬度不變的情況下通過色散元件將脈沖展寬好幾個數量級，形成所謂的啁啾脈沖。這樣，在放大過程中，即使激光脈沖的能量增加很快，其峰值功率也可以維持在較低水平，從而避免出現非線性效應及增益飽和效應，保證激光脈沖能量的穩定增長。當能量達到飽和放大可獲得的能量之后，借助與脈沖展寬時色散相反的元件將脈沖壓縮到接近原來的寬度，即可使峰值功率大大提高（圖2）。

實用化的光纖飛秒激光器如圖3所示。它由光纖鎖模振蕩器、光纖脈沖展寬器、光纖功率放大器及光柵脈沖壓縮器構成。在固體飛秒激光器中常用的體光柵脈沖展寬器，由于體積大、穩定性差、難耦合進單模光纖，并不適合用于光纖飛秒激光器。如果單模保偏光纖能夠用作脈沖展寬器，這些問題就會得到解決。但是通常情況下，單模保偏光纖和體光柵脈沖壓縮器都有正的三階色散，不能相互補償，因此脈沖壓縮效果很差。直到利用由功率放大器產生的非線性相位移動來補償光纖脈沖展寬器和光柵壓縮器的3階色散，適合于工業/醫療應用的穩定可靠的光纖飛秒激光器才得以實現[1]。

鎖模是激光器產生超短脈沖的重要技術。激光器光腔內存在多種模式的激光脈沖，當這些模式相互間的相位實現相長干涉時才產生激光超短脈沖或稱鎖模脈沖輸出。鎖模一般分為兩類：一類是主動鎖模，另一類是被動鎖模。前者是從外部向激光器輸入信號周期性地調制激光器的增益或損耗，達到鎖模；后者則采用飽和吸收器(例如一片薄的半導體膜)，利用其非線性吸收達到鎖定相對相位，產生超短脈沖輸出。

激光器鎖模的基本原理是將滿足起振條件的各個縱模的相對相位以某種形式進行鎖定，在時間坐標軸上來看，在某些時刻上，所有的振蕩模式都同時到達振幅最大的位置，相干疊加形成周期性的、強度極大提高的超短脈沖序列（圖4）。這種鎖模脈沖序列也可以理解為時間域上的相干亮條紋。