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飛秒激光器的應用

時間:2021-01-05 來源:新特光電 訪問量:2074

近幾年來,隨著人們對生活質量要求的提高,國內的消費類電子,清潔能源,新能源汽車,生物醫療以及半導體等行業得到了蓬勃的發展。激光尤其是超快激光在這些高端智能制造領域的作用得到越來越多的體現。

超快超強激光主要以飛秒激光作為研究與應用的核心,作為一種獨特的科學研究工具與手段,飛秒激光的應用可以大體上概括為三大主要方面,即飛秒激光在超快領域內的應用、在超強領域內的應用和在超微細精密加工中的應用。

(1)超快現象是指發生在物質微觀體系中快速變化的物理、化學或生物過程。飛秒激光在超快現象研究領域中所起到的是一種快速過程診斷的作用。飛秒激光尤如一個極為精細的時鐘和一架超高速的“相機”,可以將自然界中特別是原子、分子水平上的一些快速過程分析并記錄下來。在這一領域,飛秒激光為我們開了一扇新的大門,讓我們得以窺見更加細微的自然世界。

(2)飛秒激光在超強領域中的應用(又稱為強場物理)歸因于具有一定能量的飛秒脈沖的峰值功率和光強可以非常之高。這樣的強光所對應的電磁場會遠大于原子中的庫侖場,從而很容易地將原子中的電子統統剝落出去。因此,飛秒激光是研究原子,分子體系高階非線性、多光子過程的重要工具。與飛秒激光相應的能量密度只有在核爆炸中才可能存在。飛秒強光可以用來產生相干X射線和其它極短波長的光,可以用于受控核聚變的研究。

(3)隨著集成電路規模的日益增大,電子元器件在尺寸上變得越來越小,這方面的需求為超微細加工技術提供發揮空間。飛秒激光用于超微細加工是飛秒激光用于超快現象研究和超強現象研究之外的又一個飛秒激光技術的重要的應用研究領域。這一應用是近幾年順應市場需求而開始逐步發展起來的,目前已經取得了不少重要的進展。

隨著激光技術的發展,激光器向著更快脈沖、更高能量、更短波長的方向邁進,這給激光材料加工帶來了革命性的進步。這使得飛秒超快和飛秒超強研究有所不同的是飛秒激光超微細加工與先進的制造技術緊密相關,對某些關鍵工業生產技術的發展可以起到更直接的推動作用。這主要體現在超快脈沖激光加工可以得到遠高于長脈沖激光加工的精度,最高可以達到亞微米甚至納米。超快脈沖激光除了可以進行材料切割打孔等基本加工之外,還能夠實現材料表面的加工與改性,對透明材料內部的加工與改性,實現了其他加工方法無法實現的高精度、復雜形狀元器件的加工。另外超快脈沖激光幾乎可以與任何材料相互作用,可用于激光加工的材料不受限制。對于超硬、易碎、高熔點、易爆等材料的加工,更具有其他方法所無法匹敵的優勢。

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