微激光鉆孔

微激光鉆孔是工業中最常見和最常用的激光加工之一。各種各樣的激光光源類型可以處理各種材料（金屬、陶瓷、半導體、聚合物和有機材料等），具有前所未有的可重復性、準確性和速度。微鉆孔在許多行業中都很突出，例如汽車、航空航天和電子，甚至激光手術和食品行業。例如，該工藝能夠將高縱橫比鉆孔降至微米級，最近已為汽車行業開發了新的噴嘴，將發動機燃油效率提高到30％。

超短脈沖激光

鉆更小的孔、提高鉆孔速度、提高孔的精度和質量，以及降低工藝的能耗，導致對提高工業加工的產量和質量的不斷需求。這符合新的特定需求，帶來新的激光鉆孔技術的正常發展。最新的主要創新之一，是使用所謂的超短脈沖激光（USP）微加工工具。

超短脈沖激光器通常以高重復頻率（有時每秒超過十萬個脈沖）提供短而強的光脈沖。這些激光器的突出特點，是它們可以在極短的時間內，大約一皮秒（10-12秒）到幾十飛秒（10-15秒），集中脈沖的發光強度。每個脈沖都帶有一定量的能量，但其短促性使其能夠獲得相當高的峰值功率（高達幾十瓦）。

對于USP激光，脈沖是如此短而且有能量，以致它們幾乎瞬間去除被照射的材料。這些激光器的超短脈沖不會像更常規的激光那樣，通過能量被吸收為熱量來移除材料，而是在沒有熱效應的情況下導致物質的電離。這種效應被稱為冷燒蝕，允許最小的內部應力、裂縫、毛刺和其他通常由吸熱引起的缺陷。2USP激光可以每秒快速鉆高達數千個孔，7直徑小于任何其他工藝（幾微米；見圖1）。此外，由于該工藝對加工材料的后處理很少或幾乎不需要，因此高速激光器可以以較低的成本提供高生產率，4并且越來越緊湊和經濟的商用USP激光的可用性，證明了它們用于越來越多的工業應用。

圖1：由飛秒激光脈沖鉆出的燃料噴射頭孔

激光光束整形

然而，為了真正最大化該加工的有效性、質量、分辨率和效率，有必要應用適合于給定應用的激光光束整形技術。激光光束自然具有不均勻的橫向能量分布（見圖2），這可能導致不必要的能量損失、不準確性和鉆孔不規則性。材料的類型、孔的參數、鉆孔的質量和生產率都是需要考慮的因素，并且需要優化激光脈沖的強度在加工材料中的分布方式。

圖2：激光光束強度的不均勻分布

1. Gaussian intensity profile：高斯強度分布

2. Intensity：強度

3. Transverse position：橫向位置

4. Spot diameter：光斑直徑

5. Processing threshold：加工閾值

6. Wasted energy：損失的能量

根據具體應用的需要，可能需要均勻地集中激光能量，將光束整形成一定的輪廓，或甚至生成若干光束以同時處理多個區域4,5并增加工藝的生產率。例如，一種常用的光束形狀是平頂輪廓（見圖3a），這使得可以獲得均勻強度的激光光斑，從而以更好的分辨率和規則的深度穿透。

另一種常用的形狀是貝塞爾光束，它使傳播的能量在長距離上強烈聚集在小而細長的區域中（見圖3b）。因此，對于具有高縱橫比（深度與直徑比遠大于10:1的孔）的小直徑孔（有時直徑小于微米）的鉆孔特別有用。該形狀特別用于加工透明材料，8例如玻璃或藍寶石。對于更具體的應用，可能需要產生更特定幾何形狀的光束，例如使用無掩模光刻來加工光子晶體或電子微元件。

因此，需要優化該工藝以將激光光束整形單元集成到激光微鉆孔系統中。存在幾種類型的光束整形技術，例如折射光學元件（ROE）、衍射光學元件（DOE）和空間光調制器（SLM）。這些技術通常以規模化生產使用，但取決于應用，它們往往在可獲得的形狀類型方面受到限制，受到淺景深（鉆孔的有用深度）的影響，并且可能具有降低的效率和高價格。

最近，多平面光轉換（MPLC）技術在光束整形方面提供了大量的自由度，同時具有高轉換效率（> 95％）。MPLC技術自2013年開始由法國CAILabs公司開發，在整形參數、景深和能效方面取得了創紀錄的成果。它可以為激光行業生成標準形狀，例如平頂和貝塞爾光束（見圖3），以及針對更具體應用的定制形狀，無論使用何種波長。此外，它還提供了新功能，例如多個光束的合束整形，可以生成復雜的形狀。

圖3：平頂光束輪廓（a）和貝塞爾光束的實驗強度分布（b）

• Intensity：強度

• Transverse position：橫向位置

• Spot diameter：光斑直徑

• Processing threshold：加工閾值

• Wasted energy：損失的能量

• Propagation distance：傳播距離

展望

USP激光光源的不斷發展，特別是在功率、效率和成本方面，使得USP激光微鉆孔成為可以被越來越多的應用所使用的工藝。該技術長期用于小批量生產的原型設計和微加工應用，現在以越來越高的生產率，用作越來越多的大規模應用的頂級方法，例如制造動脈支架、OLED面板和注射頭。9為了確保足夠的生產率和最佳的加工質量，激光光束整型可以最大限度地提高加工效率。這就是為什么有必要采用光束整形技術，伴隨著工藝的發展，能夠應對新的微激光鉆孔應用的挑戰。