OXIDE 的 Frequad 系列是一系列連續(xù)(CW) 單頻深紫外激光器，是將 OXIDE 的波長轉(zhuǎn)換技術(shù)、非線性晶體技術(shù)和獨(dú)特的高速精密音圈馬達(dá) (VCM) 激光器相結(jié)合的成果，從而實(shí)現(xiàn)了連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。原有的 Frequad 激光器（Frequad-HP、Frequad-M、Frequad-C）已有 20 多年的成功歷史，新增加的產(chǎn)品（Frequad-M57、Frequad-W）是該系列的延伸，武漢新特光電是 OXIDE 在中國的指定經(jīng)銷商。

266nm連續(xù)深紫外激光器

266nm連續(xù)激光器是日本Oxide公司在激光器領(lǐng)域的產(chǎn)品里的主打系列，它的特點(diǎn)是具有世界最寬的輸出功率范圍20mW-2W，分為三種型號：Frequad-HP，F(xiàn)requad-M，F(xiàn)requad-C。266nm連續(xù)激光器可以說是該公司二十多年來激光器發(fā)展水平的體現(xiàn)，其采用純度超高的BBO晶體，產(chǎn)生的激光具有高光束質(zhì)量（M2<1.2）和高穩(wěn)定性（1W下可連續(xù)工作3000小時(shí)），適合客戶用于拉曼光譜，半導(dǎo)體檢測等紫外光應(yīng)用。

主要特點(diǎn)

• 使用超高純度BBO晶體：OXIDE專有BBO晶體的卓越品質(zhì)使該系統(tǒng)作為一個設(shè)備在0.3-1W的輸出功率下運(yùn)行了3000多個小時(shí)。由于晶體退化最小，高光束質(zhì)量保證了長時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行。

• 應(yīng)用精密的伺服鎖定技術(shù): 獨(dú)特的高速、高精度音圈電機(jī)（VCM）伺服執(zhí)行器驅(qū)動激光器穩(wěn)定的CW運(yùn)行。

• 功耗極低: 高效的波長轉(zhuǎn)換激光系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)低于340W的極低功耗操作。

典型應(yīng)用

• 拉曼光譜

• 半導(dǎo)體檢測

• 光致發(fā)光

• 光纖布拉格光

• 磁盤控制

技術(shù)參數(shù)

系列	Frequad-HP	Frequad-M	Frequad-C
型號	FQ50-20/-10	FQM-20/-10/-07/-05/-03	FQC-50/-20
圖片
波長	266nm	266nm	266nm
輸出功率	2.0 / 1.0W	2.0 / 1.0 / 0.7 / 0.5 / 0.3W	50 / 20mW
線寬	<0.005pm	<0.005pm	<0.005pm
功率穩(wěn)定性	< +/-1 %/8 hrs	< +/-1 %/8 hrs	< +/-3 %/8 hrs
消光比	>100:1	>100:1	>100:1
光束質(zhì)量	TEM00,    M2 < 1.2	TEM00,    M2 < 1.2	TEM00,    M2 < 1.3
偏振	垂直、線性	垂直、線性	垂直、線性
光束直徑	3mm ±    0.3mm	3mm ±    0.3mm	0.8mm ±    0.2mm
光束發(fā)散角(1/e2)	<0.2mrad	<0.2mrad	<0.4mrad
工作電源	AC100-240V,    50/60Hz	AC100-240V,    50/60Hz	AC100-240V,    50/60Hz
功耗	<300W	<340W    (<400W for 2W model)	<70W
冷卻	風(fēng)冷	水冷	風(fēng)冷
尺寸	240 x 840    x 160mm	350 x 590    x 124mm	153 x 202    x 79mm

2.Frequad-M57系列257.5nm單頻深紫外連續(xù)激光器

257.5nm連續(xù)激光器（Frequad-M57）是連續(xù)（CW）單頻深紫外激光器，是OXIDE波長轉(zhuǎn)換技術(shù)和非線性晶體技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。傳承日本OXIDE品牌深厚的技術(shù)底蘊(yùn)與嚴(yán)格的制作工藝，能夠保證產(chǎn)品的優(yōu)異性能以及優(yōu)秀品質(zhì)。其輸出功率覆蓋區(qū)間0.3w-1w，可適配多種激光能量需求；光束質(zhì)量良好，光束質(zhì)量因子 M2<1.2，能量高度匯聚，光斑均勻精準(zhǔn)，可應(yīng)用于精細(xì)加工、科學(xué)研究等范疇。運(yùn)行時(shí)，因?yàn)閮?yōu)異的性能，需要為其配置水冷裝置，確保設(shè)備在各種工作環(huán)境下仍可以保證穩(wěn)定輸出。由于其波長與氣體激光器氬離子激光器的二次諧波（SHG）相同，專為現(xiàn)有氣體激光器用戶或該波長的新用戶設(shè)計(jì)，不易操作和維護(hù)。它不僅穩(wěn)定，而且高度可靠。因此，當(dāng)應(yīng)用于光刻設(shè)備、檢測工具和現(xiàn)場流量計(jì)時(shí)，它可以做到降低維護(hù)頻率和運(yùn)行成本。它基于Frequad系列（Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C）成功的基礎(chǔ)上，應(yīng)用了OXIDE的全部核心技術(shù)。作為具有266nm深紫外（DUV）波長的連續(xù)（CW）單頻波長轉(zhuǎn)換激光器已有20多年的歷史.

主要特點(diǎn)

• 使用超高純度BBO晶體：OXIDE專有BBO晶體的卓越品質(zhì)使該系統(tǒng)作為一個設(shè)備在0.3-1W的輸出功率下運(yùn)行了3000多個小時(shí)。由于晶體退化最小，高光束質(zhì)量保證了長時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行。

• 應(yīng)用精密的伺服鎖定技術(shù): 獨(dú)特的高速、高精度音圈電機(jī)（VCM）伺服執(zhí)行器驅(qū)動激光器穩(wěn)定的CW運(yùn)行。

• 功耗極低: 高效的波長轉(zhuǎn)換激光系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)低于340W的極低功耗操作。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體檢測和光刻設(shè)備

• 拉曼光譜、光電子能譜

• 光致發(fā)光

• 磁盤主控

• 光纖布拉格光柵制造

• 生物技術(shù)

技術(shù)參數(shù)

3.Frequad-W系列213nm連續(xù)深紫外激光器

Frequad-W系列的213nm連續(xù)激光器是連續(xù)單頻深紫外激光器，是OXIDE波長轉(zhuǎn)換技術(shù)和非線性晶體技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。它在我們的連續(xù)激光器中波長最短，不僅適用于光電子能譜等科學(xué)技術(shù)應(yīng)用，而且由于其高可靠性，也適用于工業(yè)應(yīng)用。Frequad-W系列213nm連續(xù)激光器提供10mw和20mw兩種功率，光束質(zhì)量良好，光斑圓且能量勻，可以滿足絕大部分激光實(shí)驗(yàn)以及激光加工的光束質(zhì)量要求。其激光偏振態(tài)為垂直偏振且線性，電耗<300W，運(yùn)行噪聲極低，保障運(yùn)行穩(wěn)定。因?yàn)榈洼敵龉β实奶匦允蛊錈o需搭配水冷裝置使用，降低使用成本的同時(shí)，在各種使用場景也將更加便捷。

主要特點(diǎn)

• 使用超高純度BBO晶體：OXIDE專有BBO晶體的卓越品質(zhì)使該系統(tǒng)作為一個設(shè)備在0.3-1W的輸出功率下運(yùn)行了3000多個小時(shí)。由于晶體退化最小，高光束質(zhì)量保證了長時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行。

• 應(yīng)用精密的伺服鎖定技術(shù): 獨(dú)特的高速、高精度音圈電機(jī)（VCM）伺服執(zhí)行器驅(qū)動激光器穩(wěn)定的CW運(yùn)行。

• 功耗極低: 高效的波長轉(zhuǎn)換激光系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)低于340W的極低功耗操作。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體檢測和光刻設(shè)備

• 拉曼光譜、光電子光譜

• 光致發(fā)光

• 磁盤主控

• 生物技術(shù)

技術(shù)參數(shù)

4.236.5nm連續(xù)深紫外激光器 – 原形可用!

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體檢測

• 光致發(fā)光分析

• 紫外拉曼光譜

技術(shù)參數(shù)